Оборудование
Травление
Плазменное
Plasmalab System 100
Plasmalab®800Plus
Plasmalab 80Plus
Plasmalab System133
Ионно-лучевое
Ionfab 300Plus
Нанесение
Плазменное
Plasmalab®800Plus
Plasmalab 80Plus
Plasmalab System 100
Plasmalab System133
Plasmalab System400 Magnetron Sputtering Process T
Ионно-лучевое
Ionfab 300Plus
IonFab®500Plus
Optofab®3000
Атомно-слоевое осаждение
FlexAL
OpAL
Выращивание
Эпитаксия из паровой фазы гидридов
CrystalFlex
Выращивание наноструктур
Nanofab800Agile
Nanofab700
Анализ отказов
Plasmalab µEtch ICP
Plasmalab µEtch300
Plasmalab µEtchEL
Plasmalab µEtch200
