Plasmalab®800Plus

Производство Oxford Instruments Plasma Technology

 Plasmalab®800Plus  – компактная система с открытой загрузкой для решения задач опытно-конструкторских разработок и мелкосерийного производства.

Компактные системы с открытой загрузкой для проведения процессов плазменного травления и осаждения в опытно-конструкторских разработках и мелкосерийном производстве.
Установки позволяют проводить процессы:
•    реактивно-ионного травления в катодной и индуктивно-связанной плазме (RIE (РИТ), ICP-RIE (ИСП-РИТ));
•    плазмохимического травления (PE (ПХТ));
•    плазменно-стимулированное осаждение (PECVD).
Компания Oxford Instruments предоставляет пожизненную гарантию, обучение персонала и техническую поддержку.