OpAL

Пользователи продукции компании Oxford Instruments получают значительные выгоды, благодаря гарантированному качеству поставляемых систем. Контролируемость и повторяемость разработанных процессов в лаборатории компании Oxford Instruments сохраняется и поддерживается на оборудовании, установленном у пользователей.

Особенности разработанных процессов в прикладной лаборатории компании Oxford Instruments:

•    Типовая неравномерность менее ±2% на пластинах диаметром до 200 мм
•    Отличное покрытие ступенчатых структур с высоким аспектным соотношением
•    Получены высокие барьерные свойства тонких пленок
•    Низкое содержание углерода в пленках Al2O3 (AES)
•    Аморфный, не пористый Al2O3  (TEM)
•    Отличная однородность пленок HfO2, < ±2% на пластинах диаметром 200 мм (спектроскопическая эллипсометрия)

Мощность в сочетании с интуитивно-понятным программным обеспечением Система OpAL, так же как и проверенное временем семейство систем Plasmalab®, программируется и управляется простым в использовании и позволяющим проводить быстрые цикличные процессы программным обеспечением PC2000TM.

Гарантированная международная поддержка пользователей
Компания Oxford Instruments предоставляет международную сервисную поддержку поставляемого оборудования и процессов.

Уникальные достоинства системы

•    До 4-х источников жидких или твердых сред первичных компонент для напыления или нанесения
•    Перчаточный ящик, продуваемый азотом, может быть совмещен с камерой загрузки для обеспечения отсутствия влаги
•    Держатели пластин легко изымаются и устанавливаются, что уменьшает время чистки камеры
•    Опционально устанавливается в систему и подключается к программному обеспечению спектроскопический эллипсометр для
контроля процесса осаждения

Безопасность системы

•    Корпус системы может быть оснащен системой азотной продувки для обеспечения
большей безопасности и защиты здоровья оператора
•    Пневматический подъем дверцы камеры обеспечивает безопасное открытие системы
•    Система может быть дополнена вытяжным
шкафом и перчаточным ящиком с азотной продувкой для обеспечения большей безопасности и защиты здоровья оператора

Дополнительные возможности системы OpAL

Благодаря возможности обработки образцов размером от малых кусков пластин до пластин диаметром 200 мм, система способна решать как академические, так и промышленные опытно-конструкторские задачи.

Дополнительные возможности с использованием источника плазмы

Применение удаленного источника плазмы позволяет применять широчайший спектр первичных химических соединений и добиваться более высокого качества пленок. С применением плазмы удается проводить процесс при низкой температуре подложки, а удаленность источника плазмы позволяет снизить дефектность.

Химические соединения, доступные для термического и/или плазменного осаждения:
•    Оксиды: HfO2, Al2O3, TiO2, SiO2, ZnO, Ta2O5
•    Нитриды: TiN, Si3N4
•    Металлы: Ru, Pt