получить предложение

Ionfab 300Plus

Производство Oxford Instruments Plasma Technology

Модульная ионно-лучевая система Ionfab300Plus создана для проведения ионно-лучевых процессов нанесения и травления. Данная система находит применение в широком спектре приложений, в частности в микроэлектронике и при нанесении покрытий в оптике.

Система Ionfab300Plus позволяет проводить ионно-лучевое травление и осаждение из нескольких источников. Системой реализуются следующие процессы:
•    Ионно-лучевое травление/распыление (IBE/IBM)
•    Реактивное ионно-лучевое травление (RIBE)
•    Химически-стимулированное ионно-лучевое травление (CAIBE)
•    Ионно-лучевое напыление (IBSD)
•    Ионно-стимулированное напыление (IASD)
•    Реактивное ионно-лучевое осаждение (RIBD)
Все процессы проводятся на пластинах диаметром от 100 мм до 200 мм. В процессах может быть использован широкий спектр материалов.

Материалы, подвергаемые ионно-лучевому травлению (IBE):
•    Au/Pt/Ti; CMT (CdHgTe); алмаз и DLC; сапфир; YBCO; SiO2; Ni; InP/InGaAsP; GaAs.
Проводимые процессы и материалы, подвергаемые обработке реактивным ионным травлением (RIBE):
•    Кварцевые и кремниевые MEMS-структуры; CMT (CdHgTe); Rh; алмаз и DLC; SiO2; InP/InGaAsP; GaAs.
Примеры процессов ионно-лучевого напыления (IBSD):
•    Высококачественные покрытия, включая Al2O3, SiO2, Ta2O5; TiO2; DLC; Cr.
•    Гибкая конструкция с точки зрения как процессов, так и материалов
•    Высокая однородность травления, отклонение не более ± 3% на пластине диаметром 200 мм
•    Основана на передовой технологии 35-см ионного источника с 30-см сеткой
•    Малые габариты
•    Легкое обслуживание и минимальное время доступа к источнику обеспечены размещением источника на дверце системы
•    Несколько способов обработки пластин:
o    Отдельная пластина
o    Кассетная загрузка
o    Квадратная или шестиугольная кластерная конфигурация
o    Монтирование «сквозь стену»
•    Система предназначена для производства: долговечный ионный источник, легкость обслуживания и техническая поддержка компании Oxford Instruments', повсеместно осуществляемая сетью поддержки потребителей «ProServe»

Интуитивно-понятный и дружественный графический интерфейс PC3000TM, позволяющий управлять системой Ionfab300Plus:
•    Быстрое обучение пользователя
•    Контроль проводимых процессов в реальном времени
•    Отображение данных проводимого процесса в реальном времени
•    Автоматический сбор данных и ведение отчетов
•    Многоуровневый доступ с защитой паролями для обеспечения безопасности

Запрос на Ionfab 300Plus


Как к Вам обращаться ?

Ваш e-mail:

Ваш телефон:

Ваша организация:

Ваша должность:

Примечания:


Отправить запрос !