Реализуемые процессы
Плазмохимические процессы и технологии наиболее бурно развивались в 80-е годы прошлого столетия.
По сравнению с диодным реактором в реакторе магнетронного типа возможно достижение более высокой плотности мощности разряда и более устойчивое горение разряда при пониженном давлении.
По сравнению с диодным реактором в реакторе магнетронного типа возможно достижение более высокой плотности мощности разряда и более устойчивое горение разряда при пониженном давлении.