Улучшение "сухой" вакуумной системы и значительная экономия электроенергии

Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) недавно разработала новую функцию для использования систем с "сухими" насосами, которая называется "N2 Standby Mode". Данная функция позволит сэкономить энергию и азот, используемый системами плазменного травления, нанесения и роста. Первоначально системы с "сухими" насосами потребляли постоянно 35 литров азота в минуту, но азот в таких количествах нужен только когда в камере находятся газы для проведения процессов.
 
Dry Pump N2 Standby Mode представленный недавно компанией OIPT  позволит экономить до 96% газообразного азота, находясь в режиме ожидания, в сравнении с использованием во время проведения процессов. Помимо снижения влияния на окружающую среду данное нововведение позволяет существенно снизить затраты.