Oxford
Instruments предлагает уникальное семейство технологических решений для
анализа отказов. Гибкие системы анализа отказов позволяют проводить
весь спектр процессов: от удаления пассивирующих слоев до удаления
анизотропных оксидных слоев, исследование как маленьких кристаллов или
приборов в корпусе, так и полупроводниковых пластин размером вплоть до
300 мм.
