Используемые материалы:

1. Официальный сайт Oxford Instruments Plasma Technology;
2. Сайт www.oxfordplasma.de;
3. В.Ю. Киреев, А.А. Столяров. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. М: Техносфера, 2006.-192с.
4. Справочник Шпрингера по нанотехнологиям (в 3-х томах) под ред. Б. Бхушана. М: Техносфера, 2010.